中文名称：二氯硅烷
  • Dichlorosilane
  • Silane, dichloro-; Silicon chloride hydride; Dichlorosilane [UN2189] [Poison gas]; UN2189; dichlorosilicon
  • 4109-96-0
  • 223-888-3
  • Cl2Si
  • 98.9915
  • InChI=1/Cl2Si/c1-3-2
  • 二氯硅烷 4109-96-0
  • -122℃
  • 8.3°C at 760 mmHg
  • decomposes
  • 1360mmHg at 25°C
  • 用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅
  •  F+:Highly flammable;
     T:Toxic;
  • R12:;
    R14:;
    R23:;
    R34:;
  • S26:;
    S36/37/39:;
    S45:;
  • 二氯硅烷安全技术说明书