中文名称：四氟化碳
  • 四氟甲烷
  • carbon tetrafluoride
  • Tetrafluoromethane
  • 75-73-0
  • 200-896-5
  • CF4
  • 88
  • InChI=1/CF4/c2-1(3,4)5
  • 四氟化碳 75-73-0
  • -128
  • -184℃
  • -128℃
  • 用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂
  • S38:;
  • 四氟化碳安全技术说明书