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  • 中文名称: 二氯硅烷
    英文名称: Dichlorosilane
    英文别名: Silane, dichloro-; Silicon chloride hydride; Dichlorosilane [UN2189] [Poison gas]; UN2189; dichlorosilicon
    CAS号: 4109-96-0
    EINECS号: 223-888-3
    分子式: Cl2Si
    分子量: 98.9915
    InChI: InChI=1/Cl2Si/c1-3-2
    分子结构: 二氯硅烷 4109-96-0
    熔点: -122℃
    沸点: 8.3°C at 760 mmHg
    水溶性: decomposes
    蒸汽压: 1360mmHg at 25°C

    产品用途:
    用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅

    危险性标志:  F+:Highly flammable;
     T:Toxic;
    风险术语: R12:;
    R14:;
    R23:;
    R34:;
    安全术语: S26:;
    S36/37/39:;
    S45:;
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