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  • 中文名称: 四氟化碳
    中文别名: 四氟甲烷
    英文名称: carbon tetrafluoride
    英文别名: Tetrafluoromethane
    CAS号: 75-73-0
    EINECS号: 200-896-5
    分子式: CF4
    分子量: 88
    InChI: InChI=1/CF4/c2-1(3,4)5
    分子结构: 四氟化碳 75-73-0
    密度: -128
    熔点: -184℃
    沸点: -128℃

    产品用途:
    用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体及制冷剂

    安全术语: S38:;
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